Composants pour le semiconducteur

Utilisées dans les réacteurs ou les bains de gravure, les céramiques techniques offrent des avantages notables sur les pièces métalliques ou plastiques. Elles conservent toute leur stabilité dimensionnelle à hautes températures (bien supérieures à 1000°C). Elles sont d’excellents isolants électriques. Elles démontrent une grande résistance à l’usure et ne dégazent pas en utilisation dans le vide. Les céramiques sont des matériaux inertes, qui résistent à l’attaque de nombreux gaz et acides ainsi qu'à l'utilisation au sein d'un plasma. De ce fait les céramiques techniques sont des matériaux incontournables dans les procédés de traitement des wafers.

En plus des composants céramiques simples, Microcertec est à même de proposer des ensembles brasés hermétiques céramique-métal, étanches au vide et à l'ultravide.