Advanced Ceramics for
High-Tech Industries

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Produits : Chucks et bras de préhension

Les chucks et les bras de préhension permettent la manipulation et le transport des wafers en silicium au travers de toute la chaîne de production. Grâce à l'inertie chimique des céramiques, ces composants n'apportent aucune pollution sur le wafer, notamment lors des étapes de gravure en bains acides.
Ces composants permettent la préhension de wafers de grande taille et peuvent comporter des canaux d'aspiration pour le maintien de la pièce.

Applications

Les composants céramiques peuvent être utilisés dans les équipements de semiconducteurs suivants :

  • Machines de dépôt et d'implantation ionique
  • Machines de gravure par voie humide
  • Machines d’analyse de défaillances
  • Chucks électrostatiques

Produits

Microcertec propose les produits suivants :

  • Semelle pour chuck électrostatique (E-Chuck)
  • Semelle pour thermochuck
  • Bras de préhension

Matériaux

Les matières céramiques les plus utilisées sont les suivantes :

  • Alumine (ou oxyde d'aluminium) (99.5% mini)
  • Carbure de silicium (SiC), fritté et CVD

Téléchargement

Fiche produit : Composants céramiques pour le semiconducteurFiche produit : Composants céramiques pour le semiconducteur (87.61 Ko)

  • Bras de préhension en céramique
  • Bras de préhension en céramique
  • Chuck support de wafer en céramique
  • Usinage sur Thermochuck ou E-Chuck