Advanced Ceramics for
High-Tech Industries
Produits : Composants pour le semiconducteur
Utilisées dans les réacteurs ou les bains de gravure, les céramiques techniques offrent des avantages notables sur les pièces métalliques ou plastiques. Elles conservent toute leur stabilité dimensionnelle à hautes températures (bien supérieures à 1000°C). Elles sont d’excellents isolants électriques. Elles démontrent une grande résistance à l’usure et ne dégazent pas en utilisation dans le vide. Les céramiques sont des matériaux inertes, qui résistent à l’attaque de nombreux gaz et acides ainsi qu'à l'utilisation au sein d'un plasma. De ce fait les céramiques techniques sont des matériaux incontournables dans les procédés de traitement des wafers.
En plus des composants céramiques simples, Microcertec est à même de proposer des ensembles brasés hermétiques céramique-métal, étanches au vide et à l'ultravide.
Applications
Les composants céramiques et les ensembles brasés céramique-métal peuvent être utilisés dans les équipements de semiconducteurs suivants :
- Machines de dépôt et d'implantation ionique
- Machines de gravure par voie humide
- Machines d’analyse de défaillances
- Chucks électrostatiques
Produits
Microcertec propose les composants suivants en céramiques :
- Bagues, plateaux, cadres de réacteurs.
- Isolants haute-tension
- Bras de manipulation
- Guides et pins de manipulation
- Semelles chauffantes
- Plateaux isolants pour chucks électrostatiques
- Ensembles brasés céramique-métal
- Connecteurs brasés étanches
- Traversées haute-tension hermétiques
Matériaux
Les matières céramiques les plus utilisées sont les suivantes :
- Alumine (ou oxyde d'aluminium) haute pureté (96 à 99,8%)
- Nitrure d’aluminium (AlN)
- Carbure de silicium (SiC), fritté et CVD
- Macor®
- Quartz
Téléchargement
Fiche produit : Composants céramiques pour le semiconducteur (87.61 Ko)
