Advanced Ceramics for
High-Tech Industries
Produits : Composants pour le Semiconducteur
Les composants céramiques offrent des avantages notables sur les pièces métalliques ou plastiques. Ils conservent toute leur stabilité dimensionnelle à hautes températures (bien supérieures à 1000°C). Ils démontrent une grande résistance à l’usure. Ils sont d’excellents isolants électriques. Ils ne dégazent pas en utilisation dans le vide. Les céramiques sont des matériaux inertes, qui résistent à l’attaque de nombreux gaz et acides.
Applications
Nous fabriquons une grande variété de composants pour les applications suivantes :
- machines de dépôt
- machines d'implantation ionique
- machines de gravure par voie humide
- machines d’analyse de défaillances
Produits
Microcertec propose les composants spécifiques clients suivants :
- anneaux de réacteurs
- plateaux et cadres de réacteurs
- isolants haute-tension
- plaques de diffusion des gas
- guides et pins de manipulation
- semelles chauffantes
Matériaux
Pour ces applications, nous proposons les céramiques techniques suivantes :
alumine (94 à 99.8 %)
nitrure d'aluminium (AlN)
zircone
carbure de silicium fritté, SIC CVD
nitrure de silicium
quartz
saphir
Macor ®
