Advanced Ceramics for
High-Tech Industries
Produits : Chucks et bras pour la manipulation de Wafers
Les composants céramiques offrent des avantages notables sur les pièces métalliques ou plastiques. Ils conservent toute leur stabilité dimensionnelle à hautes températures (bien supérieures à 1000°C). Ils démontrent une grande résistance à l’usure. Ils sont d’excellents isolants électriques. Ils ne dégazent pas en utilisation dans le vide. Les céramiques sont des matériaux inertes, qui résistent à l’attaque de nombreux gaz et acides.
Applications
Les chucks et les bras de préhensions en céramique sont utilisés dans les machines de procédé des semiconducteurs :
- dépôt & gravure plasma
- implantation ionique
- gravure par voie humide
- nettoyage
- contrôle
Grâce à l'inertie chimique des céramiques techniques, la manipulation des wafers se fait sans risque de contamination par des particules.
Produits
Microcertec propose les composants spécifiques clients suivants :
Chucks
- supports isolants pour chucks électrostatiques
- plateaux chauffants
- plateaux à dépression
Bras de préhension
- avec canal de dépression apparent
- avec plots de contact
- avec canal intégré
Matériaux
Pour ces applications, nous utilisons principalement les céramiques techniques suivantes :
- l'alumine (94 à 99.8 %) pour ses propriétés d’isolation électrique, de résistance mécanique
- le nitrure d'aluminium fritté (AlN) pour sa plus grande capacité à dissiper la chaleur, tout en offrant une parfaite isolation électrique
- le carbure de silicium pour sa bonne conductivité thermique
