Advanced Ceramics for
High-Tech Industries
Produkte : Chuck und End-Effektoren
Die Chuck und End-Effektoren erlauben die Behandlung und den Verkehr der Wafer aus Silizium durch die ganze Herstellungsvorgänge . Dank der Korrosionbeständigkeit, bleiben die Komponenten aus Keramik sehr rein und machen keine Verschmutzung bei den chemischen Verfahren.
Diese komponenten erlauben die Behandlung von riesigen Wafer. Sie bestehen Vakuumkanale für die Haltung des Wafers.
Anwendungen
Die Komponenten aus Keramik können im nachstehende Halbleiterausstattungen benutzt werden :
- Beschichtung- und Ionenimplantationmaschinen
- Photoätzenmaschinen
- Störungsanalysemaschinen
- Elektrostatisches Chuck
Produkte
Microcertec bietet folgende Produkte :
- Platte für E-Chuck
- Platte für Thermochuck
- End-effektoren
Werkstoffe
Die mehr benutztz keramische Werkstoffe sind :
- Aluminiumoxid (Alumina) 99.5% mini
- Siliziumcarbid (SiC) gesintert und CVD
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Produktdatenblatt : Komponenten für die Halbleiterindustrien (87.72 Ko)
