Advanced Ceramics for
High-Tech Industries

| Home |

Produkte : Chuck und End-Effektoren

Die Chuck und End-Effektoren erlauben die Behandlung und den Verkehr der Wafer aus Silizium durch die ganze Herstellungsvorgänge . Dank der Korrosionbeständigkeit, bleiben die Komponenten aus Keramik sehr rein und machen keine Verschmutzung bei den chemischen Verfahren.

  Diese komponenten erlauben die Behandlung von riesigen Wafer. Sie bestehen Vakuumkanale für die Haltung des Wafers.

Anwendungen

Die Komponenten aus Keramik können im nachstehende Halbleiterausstattungen benutzt werden :

  • Beschichtung- und Ionenimplantationmaschinen
  • Photoätzenmaschinen
  • Störungsanalysemaschinen
  • Elektrostatisches Chuck

Produkte

Microcertec bietet folgende Produkte :

  • Platte für E-Chuck
  • Platte für Thermochuck
  • End-effektoren

Werkstoffe

Die mehr benutztz keramische Werkstoffe sind :

  • Aluminiumoxid (Alumina) 99.5% mini
  • Siliziumcarbid (SiC) gesintert und CVD

Laden

Produktdatenblatt : Komponenten für die HalbleiterindustrienProduktdatenblatt : Komponenten für die Halbleiterindustrien (87.72 Ko)

  • Keramik Endeffektoren
  • Keramik Endeffektoren
  • Wafer Chuck aus Keramik
  • Einzelheit auf Thermochuck oder E-Chuck