Advanced Ceramics for
High-Tech Industries

Produkte : Chuck und Endeffektoren für die Wafershandlung

Die Teile aus technischen Keramiken bieten wichtige Vorteile gegen die Teile aus Metall und Kunststoff. Sie halten ihre dimensionale Stabilität unten hohe Temperaturen (>1000°C). Sie können die Wärme wirksam senken. Sie haben eine große Verschleißbeständigkeit gegen Korrosion. Sie sind ausgezeichnete elektrische Isolatoren. Sie entgasen nicht im Vaqum. Da sind wichtige Vorteile für die Chuck und die Endeffektoren für die Halbleiterindustrien.

Anwendungen

Die Chuck und die Endeffektoren aus technische Keramik können in den nachstehenden Anwendungen verwenden werden :

plasma Beschichtung und Gravur
Ionenimplantation
Spin-Prozess
Fehleranalyse

Dank die chemische Trägheit der Keramiken, wird die Waferhandlung ohne Verschmutzung durchgeführt. Außerdem können diese Produkte im Ofen bis zu 1200°C gegrillt und im Vakuum verpackt werden.

Produkte

Microcertec bietet die nachstehenden kundenspezifischen Komponenten :

Chuck

Isolatorenträger für elektrostatische Chuck
Wärmeplatte
Vakuumplatte

Endeffektoren

mit sichtbaren Vakuumkanal
mit drinnen Vakuumkanal
mit Kontaktstift

Werkstoffe

Für diese Anwendungen wir empfohlen gern diese Keramiken :

die gesinterte Aluminiumnitrid für ihre großerste Wärmeleitfähigkeit und elektrische Isolierung
die Aluminiumoxid (94% bis zu 99,8%) wenn nur eine elektrische Isolierung notwendig wird
die Siliciumcarbid für ihre gut Wärmeleitfähigkeit

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Komponenten für die Halbleiterindustrien (87.72 Ko)