Advanced Ceramics for
High-Tech Industries
Produkte : Komponenten für die Halbleiterindustrien
Die Teile aus technischen Keramiken bieten wichtige Vorteile gegen die Teile aus Metall und Kunststoff. Sie halten ihre dimensionale Stabilität unten hohe Temperaturen (>1000°C). Sie können die Wärme wirksam senken. Sie haben eine große Verschleißbeständigkeit gegen Korrosion. Sie sind ausgezeichnete elektrische Isolatoren. Sie entgasen nicht im Vaqum.
Anwendungen
Wir fertigen eine vollständige Palette von Komponenten für diese Anwendungen :
- Beschichtung und Ionenimplantation Ausstattung
- Spin-Prozess Ausstattung
- Fehleranalyse Ausstattung
- elektrostatische Chuck
Produkte
Microcertec bietet die nachstehenden kundenspezifischen Komponenten :
- Isolatoren-Ring und Rahmen
- Hochspannung Isolatoren
- Endeffektoren
- Stifte und Hülse
- Heizplatte
- Isolatoren Scheibe für E-chuck
- Vakuumchuck
- Gasdiffusion Platte
Werkstoffe
Für diese Anwendungen wir empfohlen gern diese Keramiken :
- Aluminiumoxid – 94 to 99.9 %
- Aluminiumnitrid
- Siliciumcarbid – gesintert und CVD
- Macor ®
- Quarz
- Saphir
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