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Werkstoffe : Siliciumcarbid (SiC)

Siliciumcarbid (SiC) kommt in verschiedenen Zusammensetzungen vor. Entweder  gibt es Siliciumcarbid in unreiner Form für thermische Anwendungen oder in reiner Form (gesintert SiC und SiC CVD) für besondere mechanische und thermische Anwendungen.

Werkstoffpalette

Microcertec bietet zwei reine Formen von Siliciumcarbid, die besonders für schwierige Umweltkonditionen geeignet sind :

  • gesintertes Siliciumcarbid
  • Siliciumcarbid welches durch CVD Ablage erhalten wird

Diese beiden Werkstoffe sind hauptsächlich für thermomechanische oder korrosionsfeste Anwendungen vorgesehen, denn sie bieten einen ausgezeichneten Widerstand gegen Verschleiß, Thermoschocks und Korrosion (flüssig und gasartig). Außerdem bieten diese reinen Sorten eine hohe  Wärmeleitfähigkeit von 120 bis zu 160 W/m.K für gesintertes Siliciumcarbid und 250 W/m.K für CVD SiC.

Eigenschaften

Haupteigenschaften des Werkstoffes Siliciumcarbid :

  • niedrige Dichte
  • exzellente Wärmeschockfestigkeit
  • exzellente Verschleißfestigkeit
  • exzellente Korrosionsfestigkeit (flüssig und gasartig)
  • niedriger Ausdehnungskoeffizient
  • hohe Wärmeleitfähigkeit
  • elektrische Leitfähigkeit

typische Anwendungen

Das Siliciumcarbid wird in nachstehenden Anwendungen gern benutzt :

  • Rohr und Dichtringe in mechanischen Ausstattungen
  • Pumpen und Ventile Komponenten
  • Endeffektoren, Chuck, Thermoplatte für die Halbleiterverfahrensausstattungen

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Werkstoffeigenschaften : Keramik und QuarzWerkstoffeigenschaften : Keramik und Quarz (47 Ko)